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高效過濾器的檢漏通常采用DOP法，采用PAO氣溶膠發生器，在過濾器上游發塵，使用光度計檢測過濾器上下游氣溶膠的濃度來判定過濾器是否有泄露。使用氣溶膠發生器發塵（發煙）是因為高效過濾器的上游塵埃粒子濃度較低，僅使用粒子計數器在不發塵的情況下很難發現有泄露，需要補充發塵才能比較容易發現泄露。

人工氣溶膠DOP存在已經近40多年歷史，由于一段時間以來，因被懷疑對人有致癌作用，現常以PAO(polyaphaolefin聚a烯烴）等代替，但實驗方法仍稱“DOP法”。FDA指出在進行檢漏時環氧乙烷報警器，選用的氣溶膠應符合一定的理化要求，不應使用會引起微生物污染、造成微生物滋生的氣溶膠。PAO是一種無毒、無味的溶液，具有非致癌性，因此用PAO代替DOP用于高效過濾器的測試。

PAO氣溶膠發生器即產生煙霧的裝置可分為熱發型和冷發型兩種，DOP溶劑（或PAO溶劑）倒入發生器容器后塵埃粒子計數器，熱發生器是利用蒸發冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發，并在特定條件下冷凝成微小液滴塵埃粒子計數器，去掉過大和過小的液滴后留下0.3um左右的狀DOP進入風道，粒徑分布在0.1～0.3um。冷發生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經laskin噴管飛濺產生物態的多分散相DOP氣溶膠，最大分布粒徑在0.65um左右。在對過濾器進行掃描檢漏時，經常使用冷發型DOP法. 常用的檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計，另一種是塵埃粒子計數器。高效過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計（以下簡稱光度計），是一種前散射線性光度計，它由真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉換器和微處理器等組成。其工作原理是：當氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉換成電信號，此信號經放大和數字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強度。通過與參比物質產生的信號的對比塵埃粒子計數器，可以直接測量氣體中顆粒物質的質量濃度，因此其用途十分廣泛。而粒子計數器，它的測試值反映的是氣流中粒子個數的濃度，并規定粒徑范圍，其靈敏度較高，對所有塵源氣溶膠適用，選擇余地較大，但在高效過濾器檢漏中較少使用，兩種儀器測試結果難以定量對比。

氣溶膠發生器及氣溶膠光度計是用來檢測高效過濾器泄漏效率的。將氣溶膠發生器與氣溶膠光度計組合使用，過濾器的缺陷，如針孔，漏點，墊片泄漏，內泄漏，或邊框泄漏均可以快速的被檢測出來，進行及時糾正和采取相關措施甲苯檢測儀，從而保證高效過濾器的效率和超凈間的潔凈度等級。

DOP檢漏的材料、儀器有：發煙物質（PAO溶劑）、氣溶膠發生器、氣溶膠光度計。

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