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摘 要：利用MEMS技術將化學生長的Al2O3模板加工成傳感器的微懸梁結構，并將其應用于催化燃燒式氣體傳感器的基底。采用平面薄膜工藝制作出鉑薄膜電阻器，涂敷Al2O3-SnO2-Ti02-Pd和Al2O3-SnO2-Ti02-Pt乙炔傳感器，形成催化敏感橋臂和溫濕度補償橋臂乙炔傳感器，從而制作出乙炔傳感器。測試結果表明：傳感器可實現乙炔濃度為0～15000×10-6的檢測氨氣報警器，具有線性輸出特性，同時對乙炔傳感器的長期穩定性進行了研究。

關鍵詞：微懸梁;Al2O3膜板;催化燃燒;乙炔傳感器

0 引言

乙炔是一種易燃易爆氣體，其爆炸下限很低[1](15000×10-6)，尤其是在運輸期間，一旦發生爆炸，立刻產生人身傷亡和財產損失。國家針對危險化學品安全出臺了相關法規[2]，根據危險化學品運輸[3]的特殊性，進行了面向安全監測與跟蹤的網絡化微系統研究，包括對乙炔氣體的檢測。

采用非硅基MEMS技術制作微氣體傳感器是國外20世紀90年代的研究熱點，材料范圍主要包括陶瓷、玻璃、有機聚合物及其復合材料。由于采用MEMS技術、納米技術、半導體工藝及平面薄膜工藝等新技術、新工藝，產品具有批量化、低成本、一致性好、可靠性高的特點乙炔傳感器，這是半導體燒結式、厚膜式、接觸燃燒式及電化學式等傳感器所無可比擬的，具有強勁的發展勢頭。

本文借鑒了微橋細絲的設計理念[4]，研制了一種微懸梁結構的催化燃燒式乙炔傳感器。

1 工作機理

在通電狀態下，可燃氣體在催化劑作用下氨氣報警器，在敏感材料(如鉑膜)表面燃燒而引起敏感材料電阻阻值改變。通過標定，建立起敏感電阻的變化量與被測氣體濃度變化量的對應關系，從而檢測被測氣體濃度。

微懸梁結構的催化燃燒式乙炔傳感器由敏感橋臂和補償橋臂組成，在兩個橋臂上制作了等阻值的一對鉑薄膜電阻，采用納米γ-Al2O3陶瓷粉體作為催化劑載體，鉑和鈀作為催化劑，并將敏感電阻與補償電阻構成惠斯頓電橋，利用其輸出與乙炔濃度存在定量關系，從而實現對乙炔的檢測[5]。

2 實驗方法

2.1 氧化錫(SnO2)的制備

納米結構的氧化錫由于其在電子學、光學和光子學方面的卓越性質已經引起廣泛關注。SnO2的化學制備有多種方法，有化學沉淀一步法、化學沉淀熱分解二步法、水熱法、微乳化法、溶膠-凝膠法、噴霧熱解法、固相法等[6]。本文采用溶膠-凝膠法制備SnO2。

以 SnCl4·5H2O 為原料，以氨水作為沉淀劑。待沉淀完全，洗滌、離心，直至沉淀中的氯離子洗凈為止。將沉淀物烘干，研磨、燒結，得到SnO2敏感材料。

SnCl4 + 4NH3·H2O = Sn(OH)4↓ + 4NH4Cl

Sn(OH)4 = SnO2 + 2H2O

2.2 乙炔傳感器結構設計

圖1為乙炔傳感器敏感芯片的設計圖。乙炔傳感器的結構包括有催化劑的敏感橋臂和無催化劑的補償橋臂，橋臂結構尺寸為×，厚度為80～90μm。

2.3 微懸梁結構制作

微懸梁結構的制作基于MEMS技術，采用電化學方法制作100μm的Al2O3膜板，利用光刻及濕法刻蝕工藝制作出微結構，高溫處理后形成穩定的Al2O3微懸梁結構。

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